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Haasrode® Avior® A电容耦合等离子体刻蚀（CCP）设备

深圳市矢量科学仪器有限公司

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固态微波远程等离子体源|半导体清洗|刻蚀

成都沃特塞恩电子技术有限公司

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ULHITETM NE-7800H高密度等离子刻蚀装置

深圳市矢量科学仪器有限公司

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PlasmaPro 100 Cobra ICP电感耦合等离子体刻蚀

深圳市矢量科学仪器有限公司

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S 2400LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统

LAUDA 劳达贸易（上海）有限公司

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IL-ICP深反应离子刻蚀及化学气相沉积等离子处理系统（蚀刻、沉积、等离子处理系统）

极科有限公司

¥35000

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感应耦合等离子体刻蚀机-武汉赛斯特

武汉赛斯特精密仪器有限公司

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RIE-800iPB电感耦合等离子体刻蚀设备

深圳市矢量科学仪器有限公司

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SAT 320Pro转毂等离子清洗机

赛奥特（北京）科技有限公司

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Pishow® A 系列8英寸电感耦合等离子体刻蚀设备

深圳市矢量科学仪器有限公司

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